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首次对碲锌镉晶体热处理诱生层错的微观结构及形成机理进行了研究。碲锌镉晶体的层错能较高，形成困难，但在热处理过程中富Te相从晶体中心热迁移至表面时在晶内产生了应力，使晶体的晶格处于受拉状态，从而过饱和Te原子插入，导致局部区域原子密排面的层序发生错排，形成稳定的堆垛层错。层错的腐蚀金相蚀坑由一条条倾斜富Te槽构成，这些倾斜富Te槽沿（111）密排面排列成为一条条相互交成60°、120°的直线，其交线方向为[110]晶向。