论文部分内容阅读
介绍了霍尔传感器的工作原理,针对地磁测量的应用制作了基于十字形结构的硅霍尔传感器,并测试了器件灵敏度。测试结果显示灵敏度与器件工作区的掺杂浓度(NS)成反比,与器件十字形结构的长宽比(L/W)成正向依赖关系。详细介绍了磁集中器的原理及集成工艺,测试结果显示制作的器件实现了三轴测量,且三轴输出与理论预期相符。