论文部分内容阅读
阐述了可实现0.1 μm线宽器件加工的几种候选光刻技术,对193 nm(ArF)准分子激光光刻技术作了较为详细的论述,指出其在0.1 μm技术段的重要作用,并提出了研制193 nm(ArF)光刻设备的一些设想.
0．1μm线宽主流光刻设备—193nm（ArF）准分子激光光刻
【摘 要】
：
阐述了可实现0.1 μm线宽器件加工的几种候选光刻技术,对193 nm(ArF)准分子激光光刻技术作了较为详细的论述,指出其在0.1 μm技术段的重要作用,并提出了研制193 nm(ArF)光刻
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2002年1期
其他文献
幼儿园的课程实现游戏化，对地处农村的幼儿园来说，就是指把幼儿课程的目标、内容、要求与农村自然资源的优势和充足的室外环境在幼儿区域游戏中实现有效利用，达到幼儿与环境的高效互动，在诸多的游戏活动中渗透区域游戏活动，让年幼的孩子成为学习和进步的主体，获取知识并赢得怡悦的心情。 一、按幼儿生活经验创设课程游戏化环境 1.按课程游戏化构建游戏环境。农村幼儿的生活经验与城市孩子截然不同，如果把城市幼儿园的
PM2．5已引起科学界和社会的日益关注，本文通过剖析PM2．5的理化性质、产生根源和对人类身体健康的影响等内容，提出了PM2．5的防治措施。本文为加深公众对大气PM2．5健康危害的认识，并动
主要介绍IC条带打标设备中传输及定位系统的结构设计及其性能.
据日经BP社报道：东丽道康宁将于2008年1月上市在周围变暗时发光的硅密封材料“Dow Coming Toray CY50-200”。该材料含有蓄光成分，将日光及照明等的光储蓄（蓄光）在材料内部，可在周
不管位于哪个地方或采取什么样的商业模式，现代制造商一直特别看重在变动过程中迅速重新配置平台型贴装机的灵活性，以便能够对变动后的产品实现最优的贴装能力。但是，这一工作耗
记者:非常荣幸您接受采访.请您介绍一下Nptest目前的情况及产品.
21世纪,人类社会正式进入到信息时代。智能电网作为我国电力产业改革的重要方向,是科学技术与电网结合的产物,在提高电力服务质量等方面发挥着积极作用。智能电网建设的重要
随着国家经济的发展,越来越多的人将目光放在了水利工程质量监督与管理中,水利工程质量如何不仅会影响到人民生命安全,还会影响到国民经济增长情况,尤其是基层水利工程质量十
本文主要是将污水处理厂潜在不稳定斜坡稳定性进行了研究，由于该潜在不稳定斜坡为一古滑坡。因此文中首先介绍了在不稳定斜坡潜在不稳定斜坡变形机制，然后在进行对潜在不稳定斜