论文部分内容阅读
以氯化钐为起始原斟，采用溶胶-凝胶法在玻璃和Si（100）基板上制备了Sm2O3光学薄膜，在300-800℃对薄膜进行1～3h热处理。采用X射线衍射、原子力显微镜和紫外-可见自记式分光光度计等对薄膜的结晶取向、显微结构和光学性能进行了表征。结果表明：Sm2O3薄膜在玻璃基板和Si（100）基板上均表现出沿（311）晶面定向生长的特征；Si基板更有利于生长致密而且结晶良好的薄膜；所制备的薄膜对紫外线有强烈吸收作用，而对可见光有较好的透过作用，随着热处理温度的升高，薄膜结晶性变好，取向性增强，光吸收性能增强，