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期刊论文
pH—ISFET输出时漂特性的研究
pH—ISFET输出时漂特性的研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iamformywish
【摘 要】
:
本文对pH-ISFET恒流输出时漂特性进行了一系列实验研究,获得时漂随器件浸泡时间的变化规律,指出造成时漂的原因之一,是敏感膜水化层带有负电荷,使器件出现附加阈值电压△VT(t),而水化层厚度随浸
【作 者】
:
钟雨乐
赵守安
【机 构】
:
暨南大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1994年12期
【关键词】
:
PH-ISFET
时漂特性
Si3N4膜
Electric properties
Voltage measurement
Semiconducting film
【基金项目】
:
广东省自然科学基金
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本文对pH-ISFET恒流输出时漂特性进行了一系列实验研究,获得时漂随器件浸泡时间的变化规律,指出造成时漂的原因之一,是敏感膜水化层带有负电荷,使器件出现附加阈值电压△VT(t),而水化层厚度随浸泡时间而增加,造成△VT(t)的正向时漂,提出了器件阈值电压时漂的初步物理解释。
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