【摘 要】
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本文采用压电陶瓷作为控制元件，设计出一种能够对空气轴承实现０．０１μｍ的微量进给装置，并提出了导轨误差的神经网络补偿控制算法。实验结果及仿真研究证明了本文方法的有效性。
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本文采用压电陶瓷作为控制元件，设计出一种能够对空气轴承实现０．０１μｍ的微量进给装置，并提出了导轨误差的神经网络补偿控制算法。实验结果及仿真研究证明了本文方法的有效性。
In this paper, the piezoelectric ceramic is used as the control element to design a micro-feeding device that can realize air bearing of 0.01μm, and a neural network compensation control algorithm of the guideway error is proposed. Experimental results and simulation studies demonstrate the effectiveness of the proposed method.
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