Plasticity and Interfacial Dislocation Mechanisms in Epitaxial and Polycrystalline Al Films Constrai

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq669783

【摘要】

：

Stresses in epitaxial and textured Al films were determined by substrate-curvature measurements.It was found that in both cases the flow stresses increase with

【作者】

：

G.Dehm B.J.Inkson 等

【机构】

：

Max-Planck-InstitutfirtMetallforschung,DepartmentofMaterials

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

铝薄膜二氧化硅塑性外延生长位错氧化锆衬底 Thin film Plasticity Dislocation Interface

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Stresses in epitaxial and textured Al films were determined by substrate-curvature measurements.It was found that in both cases the flow stresses increase with decreasing film thickness.The flow stresses in the epitaxial Al films are in agreement with a d

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