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简单说明了清洗技术在90～65nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术—低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议。
90～65nm清洗新技术
【摘 要】
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简单说明了清洗技术在90～65nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术—低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议。
【机 构】
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北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年08期
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