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由于超磁致伸缩高频微泵的普通输出杆与泵腔内壁频繁摩擦产生的损耗，影响泵腔的密封性，从而导致油液泄漏。为解决这一问题，提出一种复合型柔性铰链薄膜取代普通输出杆，并对各种柔性铰链薄膜进行有限元建模及分析，由仿真结果和理论分析得出：该复合型柔性铰链薄膜转动能力强，回转精度高，结构尺寸小，运动灵敏度高，从而减小柔性铰链薄膜与泵腔内壁的摩擦，为以后GMM微泵的设计提供理论基础。