柔性ZnO/PI/PET复合薄膜的制备工艺及其阻隔性能研究

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目的解决物理溅射沉积法制备的无机氧化物类高阻隔包装材料柔韧性不足,使用过程中易脆裂的问题。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以氧化锌(ZnO)、聚酰亚胺(PI)为靶材,在PET塑料表面同时沉积制备ZnO/PI/PET复合薄膜。详细分析PI的引入对ZnO阻隔层微观结构以及性能的影响,优化ZnO/PI/PET的溅射制备工艺。结果沉积层微观形貌及包装性能受溅射功率密度比(PZnO/PPI)的影响较大。随着PZnO/PPI的降低,沉积层PI含量增加,阻隔层纳米颗粒由燕麦形状向球形转变,球径呈降低趋势。沉积层柔韧性
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