基座变形对微梁共振器固有频率的影响

来源 :江汉石油学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fankyxu
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利用解析方法分析了基座变形对微梁共振器固有频率的影响.用4个等效弹簧代替基座变形对微梁振动的影响;通过对基座变形的弹性分析确定了4个等效弹簧的刚度系数.通过对微梁(包括基座)的自由振动分析确定了微梁共振器的固有频率.有限元数值计算结果验证了分析方法的正确性.计算结果显示基座对微梁共振器的固有频率具有较大的影响而且这种影响随着梁的长高比的减小而增加.
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