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用Ａｕｇｅｒ电子能谱对Ｘ光激光实验使用的Ｎｄ薄膜靶的表面氧化进行了分析，结合Ａｒ离子束刻蚀进行元素的深度分布剖析，得到了表面氧化层厚度，所得结果与Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散方法测量的结果相吻合。
Nd薄膜靶表面氧化过程研究
【摘 要】
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用Ａｕｇｅｒ电子能谱对Ｘ光激光实验使用的Ｎｄ薄膜靶的表面氧化进行了分析，结合Ａｒ离子束刻蚀进行元素的深度分布剖析，得到了表面氧化层厚度，所得结果与Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散方法测量的结果相吻合。
【机 构】
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同济大学物理系
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家863激光技术领域资助
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