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Nd薄膜靶表面氧化过程研究
用Auger电子能谱对X光激光实验使用的Nd薄膜靶的表面氧化进行了分析,结合Ar离子束刻蚀进行元素的深度分布剖析,得到了表面氧化层厚度,所得结果与......
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