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探讨了TiN膜的吸附机理、吸附条件以及空余键力在真空镀镀膜中的应用。介绍了TiN膜的特性，制备及应用前景，包括在加硬膜、耐蚀膜、装饰膜、阻挡膜及光学膜等方面的应用。
TiN膜吸附机理及工艺的研究
【摘 要】
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探讨了TiN膜的吸附机理、吸附条件以及空余键力在真空镀镀膜中的应用。介绍了TiN膜的特性，制备及应用前景，包括在加硬膜、耐蚀膜、装饰膜、阻挡膜及光学膜等方面的应用。
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系激光研究所230009
【出 处】
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合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1997年6期
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