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对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电镜、X射线衍射仪等多种表征手段进行验证.结果表明该方法具有简单、准确等优点.
纳米铝表面超薄氧化层厚度的表征研究
【摘 要】
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对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电
【机 构】
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河南教育学院理论物理重点学科组,河南教育学院物理系,河南教育学院化学系
【出 处】
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河南教育学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年4期
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