快速热平衡式pVTt法气体流量标准装置的设计与研究

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设计了基于单侧溢流式恒温水浴系统的快速热平衡式pVTt气体流量标准装置,对水浴及临界流喷嘴进行了实验研究,采用了五路阀门组合控制技术,实现了预抽气功能,降低了压力波动.装置平衡时间为6 min,与其它pVTt法气体流量标准装置相比,平衡时间至少缩短一倍.
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