应用于MEMS的多孔硅的制备方法研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whoelse

【摘要】

：

采用化学腐蚀法、单槽电化学腐蚀法和双槽电化学腐蚀法来进行多孔硅的制备,通过对比这三种方法所制备多孔硅的表面形貌特征,发现双槽电化学腐蚀法与其它两种方法相比,具有孔

【作者】

：

韩建忠倪国强崔梦胡明田斌

【机构】

：

北京理工大学光电工程系,天津大学电子信息工程学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

多孔硅 MEMS 制备方法双槽电化学腐蚀法化学腐蚀法单槽电化学腐蚀法微电子机械系统 porous silicon MEMS preparing meth

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用化学腐蚀法、单槽电化学腐蚀法和双槽电化学腐蚀法来进行多孔硅的制备,通过对比这三种方法所制备多孔硅的表面形貌特征,发现双槽电化学腐蚀法与其它两种方法相比,具有孔径尺寸小(可达5～10 am)、均匀性好、腐蚀深度大(可达几百nm)等优点,其制备的多孔硅更符合在MEMS中应用的要求.最后对双槽电化学腐蚀法中腐蚀时间及电流密度对腐蚀速率的影响进行了研究.

其他文献

汴绣的艺术特色及发展路径探析

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

会议

汴绣历史演变艺术特色传承与开发

经济发展新常态下工匠精神的价值意蕴、战略诉求与创新转换——兼论职业教育现代学徒制改革的推进策略

从文化视角分析了古今中外工匠精神的起源、发展、核心内涵及以时代价值,认为当前我国实施的"一带一路""中国制造2025""互联网+"等战略迫切需要重拾"工匠精神"。培育"大国工

期刊

经济新常态工匠精神职业教育现代学徒制创新转换

诗经·采薇

期刊

采薇四牡猃狁

低压断路器脱扣性能的有限元仿真

为了得到准确的设计参数,笔者采用有限元软件ANSYS电磁-热-结构耦合场分析方法,对热双金属片的热弹性变形进行仿真,通过建立有限元模型,模拟脱扣器驱动部件在各种要求工况下

期刊

电子技术热双金属断路器有限元仿真electronic technology thermal-bimetal circuit breaker finit

多功能菌株假单胞菌的溶磷和解磷效果及其应用

从长期受到有机磷污染的土壤里分离一株高效降解有机磷的假单胞菌MET75（pseudomonas.MET75）.将MET75菌悬液(OD600 nm=1.0)以2%的接种量加入含有乐果的无机盐培养基中,摇瓶培养1

期刊

假单胞菌MET75有机磷促生长作用应用

曲古霉素对卵巢癌细胞体外增殖与凋亡能力的影响及其分子机制研究

期刊

卵巢癌曲古霉素增殖凋亡线粒体膜电位

铝碳化硅复合材料T／R组件封装外壳的研制

介绍了铝碳化硅复合材料T/R组件封装外壳的研制.用磷酸铝溶液、聚乙二醇、蒸馏水、糊精和淀粉配制碳化硅浆料的粘结剂,采用双向模压法制备带金属镶嵌件的近净成型的碳化硅预

期刊

封装铝碳化硅复合材料预制件T/R组件压力浸渗aluminum silicon carbide composites preformed units T

应用于MEMS的多孔硅的制备方法研究

其他学术论文