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介绍微型硅加速度传感器的研制概况，阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术，并对封装后的测试结果进行分析与探讨。
微型硅加速度传感器
【摘 要】
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介绍微型硅加速度传感器的研制概况，阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术，并对封装后的测试结果进行分析与探讨。
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
：
电子元器件应用
【发表日期】
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2003年4期
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