DSP实现双面光刻底面对准系统中的图像采集与处理

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myeclipse75

【摘要】

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在简述双面光刻对准系统原理的基础上,着重论述了如何利用DSP进行图像采集与处理,以实现底面曝光的高精度对准.

【作者】

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【机构】

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中国科学院光电技术研究所

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年3期

【关键词】

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在简述双面光刻对准系统原理的基础上,着重论述了如何利用DSP进行图像采集与处理,以实现底面曝光的高精度对准.

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