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今年是集成光学诞生二十周年,本文就集成光学领域的进展与现状作一评述。重点介绍LiN<sub>b</sub> O<sub>3</sub>Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体和硅衬底上的器件及其集成,工艺技术以及应用。
集成光学的进展与现状：纪念集成光学诞生二十周年
【摘 要】
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今年是集成光学诞生二十周年,本文就集成光学领域的进展与现状作一评述。重点介绍LiN<sub>b</sub> O<sub>3</sub>Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体和硅衬底上的器件及其集成,工艺技术以及
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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高速摄影与光子学
【发表日期】
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1990年2期
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