【摘 要】
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基于90 nm金属-氧化物半导体场效应晶体管（metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,MOSFET）器件的S参数测试的结果,对测试结构进行去嵌,采用直接提取法提取测试结
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基于90 nm金属-氧化物半导体场效应晶体管（metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,MOSFET）器件的S参数测试的结果,对测试结构进行去嵌,采用直接提取法提取测试结构的寄生元件参数.在去除寄生元件参数的影响后,以仿真模型的S参数和测量所得的S参数之间的差值作为优化标准,应用半分析法提取小信号模型的各个元件参数.结果表明：在1~40 GHz的频率范围内,模拟的S参数和测试的S参数在史密斯圆图中吻合良好,两者之间的误差均处于较低水平,验证了模型的
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