【摘 要】
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微波耦合效率(Pi-Pr)/Pi是微波离子源的重要参数,它与磁场强度和分布关系密切.通过对比实验研究了不同等离子体离子腔尺寸、不同引入窗厚度时对微波耦合效率的影响,当离子腔
【基金项目】
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科技部科技型中小企业技术创新项目
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微波耦合效率(Pi-Pr)/Pi是微波离子源的重要参数,它与磁场强度和分布关系密切.通过对比实验研究了不同等离子体离子腔尺寸、不同引入窗厚度时对微波耦合效率的影响,当离子腔尺寸为100mm,窗厚度为30mm时,耦合效率为100%(磁场分布在最佳模式).此外还研究了耦合效率与真空度的关系,通过二极多孔引出电极引出系统引出离子,其引出电压为1.8kV,引出束流为30mA.
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