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类金刚石薄膜的质量分离离子束沉积

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sanji621

【作 者】

：

Huck. H 李闵一 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1994年6期

【关键词】

：

类金刚石 薄膜 质量分离 离子束 沉积 

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