应变式钢杯压力传感器的多层介质膜研究

来源 :黑龙江大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xulingxuan

【摘要】

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在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移.同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定

【作者】

：

穆长生张辉军温殿忠

【机构】

：

黑龙江大学电子工程学院

【出处】

：

黑龙江大学自然科学学报

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

多层薄膜应变片伪扩散钢坏 multiplayer thin-film strain sensor false diffusion steel cup

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在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移.同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定性.开发良好的铂薄膜电阻应变式钢杯压力传感器的研究具有重要意义.通过多层介质膜解决金属薄膜衬底和铂薄膜电阻间的隔离层问题,提高了应变式钢杯压力传感器的力学特性和长期稳定性.

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