【摘 要】
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本文用样品表面对(111)晶面的小角度偏离解释了高温退火和热氧化过程中出现的弧形和弓形OSF,分析了它们的形貌特征,并确定了弧形OSF的成核位置.讨论了表面弓形OSF的宽长比.发
【机 构】
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南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系
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本文用样品表面对(111)晶面的小角度偏离解释了高温退火和热氧化过程中出现的弧形和弓形OSF,分析了它们的形貌特征,并确定了弧形OSF的成核位置.讨论了表面弓形OSF的宽长比.发现随着长度的增长,弓形 OSF的宽长比从 1/2逐渐变为与长度成反比例.
In this paper, the arc-shaped and arcuate OSFs appearing in the high-temperature annealing and thermal oxidation process are explained by the small angle deviation of the (111) crystal surface from the sample surface. Their morphological characteristics are analyzed and the nucleation position of the curved OSF is determined. The aspect ratio of the surface arcuate OSF was discussed and it was found that the aspect ratio of the arcuate OSF gradually changed from 1/2 to inversely proportional to the length as the length increased.
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