As＋注入Si1—xGex的快速退火行为

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zy124321628

【摘要】

：

用二次离子质谱对Ａｓ＋注入Ｓｉ１－ｘＧｅｘ的快速退火行为进行了研究，Ｓｉ１－ｘＧｅｘ样品中Ｇｅ组分分别为ｘ＝０．０９，０．２７和０．４３，Ａｓ注入剂量为２×１０＾１６ｃｍ＾－２，注放能量为１００ｋｅＶ，快速退火温度分别为９５０℃和１０５０℃，时间均为１８秒，实验结果表明，Ｓｉ２－ｘＧｅｘ样品，Ａｓ浓度分布呈组分密切相关

【作者】

：

邹吕凡王占国孙殿照何沙范缇文刘学锋张靖巍

【机构】

：

中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室,中南民族学院电子工程系

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1996年9期

【关键词】

：

砷离子注入退火 SIGE

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