微波等离子体制备氮杂二氧化钨钒薄膜

来源 :武汉工程大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzp90518

【摘要】

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根据二氧化钒在68℃附近发生相变的这一特性,选用V2O5和W2O3为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,合成了氮杂二氧化钨钒(V0.98W0.02O2-xNy)薄膜.通过XRD表征

【作者】

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陈金民黄志良刘羽王升高

【机构】

：

武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室

【出处】

：

武汉工程大学学报

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

微波等离子体氮杂V0.98W0.02O2-xNy 相变温度薄膜

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根据二氧化钒在68℃附近发生相变的这一特性,选用V2O5和W2O3为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,合成了氮杂二氧化钨钒(V0.98W0.02O2-xNy)薄膜.通过XRD表征了样品的组成,用自制的仪器测量了合成样品的相变温度,结果表明:样品为氮杂二氧化钨钒(V0.98W0.02O2-xNy),通过氮掺杂能有效降低二氧化钨钒薄膜的相变温度,相变温度最低可以降至35℃.

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