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针对不同的芯片工厂类型的用水特点，提出不同的纯水回用方法。
IC工厂水的回收与回用
【摘 要】
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针对不同的芯片工厂类型的用水特点，提出不同的纯水回用方法。
【机 构】
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世源科技工程有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2007年4期
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