【摘 要】
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据《中国电子报》2007年9月4日报道,由沈阳芯源微电子设备有限公司研制的12英寸(300mm)晶圆先进封装设备,于近日在江阴长电先进封装有限公司通过严格的工艺检测验收,已正式投
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据《中国电子报》2007年9月4日报道,由沈阳芯源微电子设备有限公司研制的12英寸(300mm)晶圆先进封装设备,于近日在江阴长电先进封装有限公司通过严格的工艺检测验收,已正式投入生产使用。这是国内首台12英寸芯片制造设备,是国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。沈阳
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