【摘 要】
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前言在半导体材料和集成电路的测试工作中,广泛地采用探针技术,即运用金属探针与半导体表面的接触来了解半导体材料或器件某些参数特性。但是,目前还没有较完整的金属与半导
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前言在半导体材料和集成电路的测试工作中,广泛地采用探针技术,即运用金属探针与半导体表面的接触来了解半导体材料或器件某些参数特性。但是,目前还没有较完整的金属与半导体的接触理论。而金属探针与半导体的接触电阻的提法及阻值均不统一。该接触电阻的大
Introduction In the testing of semiconductor materials and integrated circuits, probe technology is widely used, that is, the contact between the metal probe and the semiconductor surface is used to understand certain parameter characteristics of the semiconductor material or device. However, there is not a complete theory of the contact between metal and semiconductor at present. The metal probe and semiconductor contact resistance reference and resistance are not uniform. The contact resistance is large
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