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单晶硅异向化学腐蚀技术是制造三维硅微结构的重要加工手段，已广泛应用于微传感器、微致动器等微机械元件的制作。对该项技术的深入探讨有助于研究单晶硅在异向腐蚀液中各晶面的腐蚀情况，以建立异向腐蚀技术计算机仿真系统，制作出更为复杂精确的微机械结构。仿真系统可以模拟腐蚀工艺过程，预测腐蚀结果，同时可用于工艺设计及掩模图形设计等。