【摘 要】
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<正>静态膨胀法真空标准装置具有操作简单、测量不确定度小的优点,经过百年的探索和研究,包括我国在内的多个国家已将该标准作为真空计量基准器具。近年来,随着我国在航天、
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<正>静态膨胀法真空标准装置具有操作简单、测量不确定度小的优点,经过百年的探索和研究,包括我国在内的多个国家已将该标准作为真空计量基准器具。近年来,随着我国在航天、高能物理、核聚变、表面科学、微电子器件等领域发展迅速,对超高真空精确校准提出了普遍需求,而传统静态膨胀法真空标准装置的校准下限通常为10-4Pa到10-5Pa量级,不能实现对超高真空精确校准需求,需采用新技术、新方法研制新一代静态膨胀法真空标准装置。
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