【摘 要】
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使用严格耦合波分析和有限元模拟方法，设计了一种新颖的亚波长非周期高对比折射率光栅（HCG）．该HcG的结构参数在1．55μm波长能同时满足在Si材料上制作聚焦反射镜和在GaN材料上制作
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使用严格耦合波分析和有限元模拟方法，设计了一种新颖的亚波长非周期高对比折射率光栅（HCG）．该HcG的结构参数在1．55μm波长能同时满足在Si材料上制作聚焦反射镜和在GaN材料上制作聚焦透镜，且具有符合微电子工艺的平面结构．模拟结果显示，2种HCG都具有大的数值孔径、很高的衍射系数和优秀的聚焦能力．由于具有相同的HCG结构参数，聚焦透镜和反射镜可以在制作工艺上使用同一光刻掩模版，这对需要聚焦功能的器件，尤其是Si和Ⅲ族氮化物集成器件的设计制作，提供了极大的方便．
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