【摘 要】
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随着微电子技术迅速发展,微电子产品的集成度和复杂性越来越高,微电子产品的生产工艺对生产环境的要求日益增高。就某型光电探测器为例,通过分析生产环境的几个主要因素对产
【机 构】
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驻二○九所军代室,驻二九六厂军代室 四川 成都 610041,重庆 400054
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随着微电子技术迅速发展,微电子产品的集成度和复杂性越来越高,微电子产品的生产工艺对生产环境的要求日益增高。就某型光电探测器为例,通过分析生产环境的几个主要因素对产品外观质量引起的影响,讨论如何控制生产环境对产品生产的影响,提高产品成品率。
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