【摘 要】
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介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法,可以避免激光干涉仪的非线性影响,使系统能够得到准确校准,达到纳米级精度。该测
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,
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介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法,可以避免激光干涉仪的非线性影响,使系统能够得到准确校准,达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度,三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm,分辨率能够达到1nm以下。
An automatic six-dimensional nano-measurement system for on-line detection of nano-positioning platform is introduced. The method of measuring the wavelength of the whole wavelength is proposed to avoid the nonlinear influence of the laser interferometer so that the system can be accurately calibrated to achieve nanometer accuracy. The measurement system can measure 6 degrees of freedom, the measurement range of three-dimensional linear motion is 100μm × 100μm × 100μm, the resolution can reach below 1nm.
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