【摘 要】
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行波管内真空度对其性能、可靠性具有重要影响,通过对几种测量真空度方法的比较,确定采用热阴极电离计法.通过分析、实验确定了加电参数,针对离子流波动大的问题,采用电子轰击除气降低放气的影响,采用电源屏蔽措施减少信号干扰等,最终获得了样管真空度同离子流的对应关系.对同型产品检测离子流后,对照离子流同真空度的对应关系可评价真空度.
【机 构】
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北京真空电子技术研究所,北京100015;中国电子产品可靠性与环境试验研究所,广东广州510610
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行波管内真空度对其性能、可靠性具有重要影响,通过对几种测量真空度方法的比较,确定采用热阴极电离计法.通过分析、实验确定了加电参数,针对离子流波动大的问题,采用电子轰击除气降低放气的影响,采用电源屏蔽措施减少信号干扰等,最终获得了样管真空度同离子流的对应关系.对同型产品检测离子流后,对照离子流同真空度的对应关系可评价真空度.
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