论文部分内容阅读
设计研制了大气开放式金属有机化合物气相沉积（AP—MOCVD）装置，该装置操作简便，制备条件易控制，可制备不同碳掺杂氧化钛和纯氧化钛薄膜。以XRD、AES、XPS和uV—vis对碳掺杂氧化钛薄膜表征表明，以大气开放式MOCVD法在玻璃基片上制备的碳掺杂氧化钛薄膜，碳均匀掺杂到氧化钛晶格中，氧化钛晶格中碳占据了氧的位置并形成Ti—C键。其紫外可见吸收光谱（UV—vis）吸收曲线相对于纯氧化钛薄膜明显红移，并提高可见光的利用率。以AP—MOCVD法制备的碳掺杂氧化钛薄膜具有显著的可见光催化活性，在可见光下能使