碳掺杂氧化钛相关硕士博士期刊学术论文

设计研制了大气开放式金属有机化合物气相沉积（AP—MOCVD）装置，该装置操作简便，制备条件易控制，可制备不同碳掺杂氧化钛和纯氧化钛薄膜......