SiGe HBT技术进展

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【摘要】

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首先论述了 Si Ge技术的优势、发展历史和应用领域 ,并介绍了 Si Ge工艺和器件的进展 ,最后详细描述了 Si Ge IC的进展 Firstly, the advantages, development history and

【作者】

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刘志农钱佩信陈培毅

【机构】

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清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084

【出处】

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半导体情报

【发表日期】

：

2000年06期

【关键词】

：

SiGe SiGeHBT UHV/CVD BiCMOS 无线通信直流电源 SiGe HBT 应用领域器件 SONET

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首先论述了 Si Ge技术的优势、发展历史和应用领域 ,并介绍了 Si Ge工艺和器件的进展 ,最后详细描述了 Si Ge IC的进展 Firstly, the advantages, development history and application fields of SiGe technology are discussed. The progress of SiGe process and device is introduced. Finally, the progress of SiGe IC is described in detail.

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