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美国Athens公司推出了一种HF再生装置,可使半导体生产中用于洗涤和蚀刻的化学药品减少90％。半导体厂家皆为半导体处理液的排放和化学药品价格的上涨,尤其是必须使
HF再生装置
【摘 要】
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美国Athens公司推出了一种HF再生装置,可使半导体生产中用于洗涤和蚀刻的化学药品减少90％。半导体厂家皆为半导体处理液的排放和化学药品价格的上涨,尤其是必须使
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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1989年2期
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