宽禁带半导体金刚石材料与功率器件

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本文介绍宽禁带半导体金刚石材料的结构、物理特性、器件结构和制备工艺,并根据材料的特性参数,给出金刚石功率器件频率与功率性能预测,与Si,GaAs等材料进行了比较。最后指出金刚石半导体器件实用研究作方向。
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