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宽禁带半导体金刚石材料与功率器件
宽禁带半导体金刚石材料与功率器件
来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:seelo1332
【摘 要】
:
本文介绍宽禁带半导体金刚石材料的结构、物理特性、器件结构和制备工艺,并根据材料的特性参数,给出金刚石功率器件频率与功率性能预测,与Si,GaAs等材料进行了比较。最后指出金刚石半导
【作 者】
:
田敬民
【机 构】
:
西安理工大学微电子技术教研室
【出 处】
:
半导体杂志
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
宽禁带半导体
金刚石
功率器件
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本文介绍宽禁带半导体金刚石材料的结构、物理特性、器件结构和制备工艺,并根据材料的特性参数,给出金刚石功率器件频率与功率性能预测,与Si,GaAs等材料进行了比较。最后指出金刚石半导体器件实用研究作方向。
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