【摘 要】
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介绍了离子注入表面改性技术的基本原理、工艺特点、研究现状和工业应用情况。较全面地探讨了该技术的发展趋势和应用。提出了应继续改进和发展设备以进一步改善其效能,降低注
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介绍了离子注入表面改性技术的基本原理、工艺特点、研究现状和工业应用情况。较全面地探讨了该技术的发展趋势和应用。提出了应继续改进和发展设备以进一步改善其效能,降低注入成本,并采取合适的产业政策。
The basic principles, technological characteristics, research status and industrial application of ion implantation surface modification technology are introduced. More comprehensive discussion of the technology trends and applications. Proposed that the equipment should be continuously improved and developed to further improve its efficiency, reduce the injection cost and adopt suitable industrial policies.
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