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本文分别采用因子分析法和熵值法对2016年全国30个省市的高技术产业集聚程度和高技术产业规模经济程度进行测度。构建计量模型,研究规模经济、运输便利度、人力资本以及城市化水平等对高技术产业集聚度的影响作用程度。结果表明:规模经济、运输便利度、城市化是促进高技术产业集聚的积极因素;而人力资本水平则对高技术产业集聚有一定的抑制作用。基于此,本文提出了促进高技术产业集聚发展的政策建议。