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介绍基于耿氏效应的器件在太赫兹领域的研究，详细地阐述耿氏二级管的原理、工艺流程、关键技术的解决和耿氏二极管频率和功率的提高等。重点介绍耿氏二极管的封装工艺和耿氏二极管腔体的具体结构。系统论述通过制备腔体需要的关键尺寸，如腔体内部尺寸、波导型号，从而提取基波与谐波，并提出其提高频率和功率的途径。
基于耿氏效应的太赫兹器件的研究进展
【摘 要】
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介绍基于耿氏效应的器件在太赫兹领域的研究，详细地阐述耿氏二级管的原理、工艺流程、关键技术的解决和耿氏二极管频率和功率的提高等。重点介绍耿氏二极管的封装工艺和耿氏二
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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太赫兹科学与电子信息学报
【发表日期】
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2013年2期
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