【摘 要】
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采用基于第一性原理的从头计算分子动力学方法,模拟了300、400、500、600和700℃下SrO、BaO和TiO2分子在GaN（0001）表面吸附的动力学过程,研究了温度对原子运动轨迹、吸附能、界
【基金项目】
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四川省科技厅基金(2014JY0091)
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采用基于第一性原理的从头计算分子动力学方法,模拟了300、400、500、600和700℃下SrO、BaO和TiO2分子在GaN（0001）表面吸附的动力学过程,研究了温度对原子运动轨迹、吸附能、界面电荷分布、稳定吸附方位和扩散系数的影响.温度不同,O-Ga成键时间不同,SrO分子中的O原子与GaN基底成键的Ga原子不同; TiO2分子中O原子与GaN表面Ga原子成键的顺序也不同.温度对SrO、BaO和TiO2分子在GaN（0001）表面的最终吸附形态和吸附方位有显著的影响.温度对不同吸附体系吸附能的影响也不相同;小分子在GaN（0001）基片表面优先吸附的顺序依次为TiO2、SrO和BaO分子.数据分析显示SrO和BaO分子的最优生长温度是600℃,TiO2分子的最优生长温度是500℃.
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