【摘 要】
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采用正交试验法对直径为20μm的铂金丝进行超声波键合试验,并通过三轴测量显微镜观察键合区域形貌和测量键合点根部高度.结果表明,在研究的4个参数中,键合时间、搜索高度和超声功
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料和器件重点实验室
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采用正交试验法对直径为20μm的铂金丝进行超声波键合试验,并通过三轴测量显微镜观察键合区域形貌和测量键合点根部高度.结果表明,在研究的4个参数中,键合时间、搜索高度和超声功率的影响都较大,而键合力的影响较小.通过正交试验法可以快速获得较优的键合参数,最佳工艺条件为:键合力0.013N,键合功率0.325形(彤为键合区宽度),键合时间30ms,搜索高度0.2mm.键合点质量可以通过测量键合点根部高度进行评价,当根部高度在4-10μm之间时,引线拉力均在0.03N以上.而且,当键合区接近椭圆形,且当W≈2D(
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