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本文首次报道了用溅射反应法制备的ａ－ＧｅＣＮｘ：Ｈ薄膜的制备工艺、红外和拉曼谱的特性，并观测到因掺碳引起的新的Ｎ－ＣＨｎ的红外吸收峰。
溅射a—GeCNx：H薄膜的红外和拉曼特性
【摘 要】
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本文首次报道了用溅射反应法制备的ａ－ＧｅＣＮｘ：Ｈ薄膜的制备工艺、红外和拉曼谱的特性，并观测到因掺碳引起的新的Ｎ－ＣＨｎ的红外吸收峰。
【机 构】
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兰州大学物理学系,兰州大学物理学系兰州730000,兰州730000,兰州730000
【出 处】
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兰州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年4期
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