论文部分内容阅读
本文报道了利用ＸＲＤ、ＲＢＳ、ＳＰＲ、ＡＥＳ、ＳＥＭ、ＴＥＭ和Ｋｅｌｖｉｎ电阻桥法（ＣＢＫＲ）等测量技术系统地研究化钛／硅，硅化钴／硅欧姆接触特性。实验结果表明：硅化钛（硅化钴）／硅欧姆接触电阻率（Ｐｃ）不仅受表面层掺杂浓度而且也受退火温度，杂财分布及硅化物／硅介面形貌等因素影响。
硅化物／硅欧姆接触特性研究
【摘 要】
：
本文报道了利用ＸＲＤ、ＲＢＳ、ＳＰＲ、ＡＥＳ、ＳＥＭ、ＴＥＭ和Ｋｅｌｖｉｎ电阻桥法（ＣＢＫＲ）等测量技术系统地研究化钛／硅，硅化钴／硅欧姆接触特性。实验结果表明：硅化钛（硅化钴）／硅欧姆接触电阻率（Ｐｃ）不仅受表面层掺杂浓度而且也受退火温度，杂
【出 处】
：
北京大学学报：自然科学版
【发表日期】
：
1993年5期
其他文献
分析某设备的手柄结构特征，通过CAE模拟树脂和气体填充成型过程，确定塑料熔体和气体的最佳切换时间，以及控制塑料熔体的气体注入量和气压大小，确保产品的品质，生产的塑件精度高，产
在正压流体中,两个相互作用的非线性Rossby波满足一耦合的非线性Schr(?)dinger方程组。文献[1]研究了此方程组的包络孤立波及其碰撞相互作用解。本文对比方程组的周期波动解
本文在比较自然的条件下证明了一类周期摄动的Duffing系统的调和解的存在性。
为了保证勤务处理惯性敏感装置跌落时结构完好和安全，运用ADAMS软件仿真分析了某导弹惯性点火器中作为惯性敏感装置的弹簧-质量系统的跌落响应特性，得到了针对不同跌落目标时惯
方庄古船是北京地区发现的第一艘古船实物，船板的＾１４Ｃ年代为距今２２０５±７０年，埋藏地层中树木的＾１４Ｃ年化为距今１７３７±８６年，通过对船址所在地区的调查、地层剖面的详细观察测量和对沉积物样品的
现代高技术条件下的局部战争要求自动炮具有高射速，这为速射火炮发射弹幕带来了新的问题：膛口流场叠加后对后继发射弹丸的扰动效应将严重影响弹丸的运动状态，改变预定的弹幕分布
在三峡工程可行性论证阶段，利用泥沙数学模型对三峡水库各种蓄水方案库区泥沙冲淤变化进行了预估。本文根据大量计算成果对三峡水库不同蓄水位方案的库区泥沙淤量，淤积沿程分布
在pH 10.5的0.2mol/L乙二胺—盐酸底液中,用单扫极谱法可获得茜素蓝S的可逆的强吸附波和稀土离子—茜素蓝S的络合吸附波。茜紊蓝S在汞电极上的吸附符合Frumkim等温式。用该法
建立了合理的材料本构、接触模型和摩擦模型，基于合理的切屑分离准则，建立了正交切削过程有限元力学模型，应用DEFORM软件实现了正交切削过程数值模拟。研究了不同转速、不同刀具
根据微波在大气中的辐射传输理论，采用接收１．３５ｃｍ和８ｍｍ波段的大气噪音，推算大气中水汽和液态水含量，研制了双通道微波辐射计，进行遥感实验，文章中对微波辐射计测得的数据如何校正，展开了详细