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频率跟踪是超声波电源的一个非常重要的特性。为解决压电换能器锁相环频率跟踪中存在的跟踪范围狭小、易出现误跟踪和失锁等问题，提出了一种直接数字频率合成技术结合数字锁相环频率跟踪的复合控制方案。试验表明，运用这种频率跟踪方案控制的超声波电源具有有频率跟踪速度快，跟踪准确的优点，可实现系统的稳定、高效运行，提高了电源效率。