论文部分内容阅读
测试了国产和美国Cree公司生产的n型6H-SiC低温下的电学参数，包括电阻率、迁移率和自由载流子浓度，并用FCCS软件数据拟合分析得到两种SiC的杂质浓度和能级．实验结果表明：杂质浓度和补偿度对低温下SiC的电性能有很大影响，轻度补偿的掺氮6H-SiC是施主氮的两个能级共同起作用；而重度补偿的6H-SiC在低温时则是受主能级起作用，并且后者迁移率随温度变化曲线的峰值降低并右移．同时发现重度补偿的SiC在较低温度时由11型转变成了P型，并从理论上分析了产生这种现象的原因．